新凯莱“没有”光刻机,你应该失望吗?
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10月15日,2025湾区半导体产业生态博览会(湾芯展)在深圳会展中心举行。估计很多人都会失败。当天展会上,新凯来展台展示了光学检测BFI产品岳麓山、物理及X射线测量设备XPS赤霞山-XP、刻蚀产品武夷山、扩散产品Epi峨眉山、RTP三清山、薄膜产品PVD普图因汉、ALD阿里山、子公司CVD上白山万里研等。 新凯来的光刻机也有独立展位,展示了下一代数字网络测试产品、高频高速芯片测试产品等,产品很多,但最值得期待的国产光刻机却没有。不过,这并不奇怪。很多人和新手投资者被营销号误导,不了解兴凯来的业务范围。诚然,新凯来是做半导体设备的,但这里还有一个负责光刻机的人,那就是相对不为人知的宇良胜(上海宇良胜科技有限公司)。新开来和创科威各持股一半,分别对应上海国资和深圳国资。 9月,有媒体报道称,该公司生产的28纳米光刻机进入中芯国际生产线进行测试验证,用于生产7纳米芯片。但此后并未有更多权威信息发布。这种不准确的消息在谣言的传播过程中变得越来越夸张。看来“捉住荷兰人超可爱”这句话是不公平的。甚至有自媒体表示,“有了duv光刻机之后会怎样?全球95%以上的芯片都可以国产,剩下的5%只要再等一两年,国产euv光刻机就没有问题了。”最后被炒作的是上海微电子。今年8月,“28nm光刻机量产”、“EUV技术突破”、“全球市占率85%”等数据被自媒体反复炒作。还有消息称上海微电子通过借壳合并上市,但最终没有发生。一批投资者参与了相关炒作。 概念并陷入困境。营销号提到的所谓上海微电子28nm光刻机,一般认为是SSA800。
很多人都不知道差距有多大。他们从军工的角度看半导体行业,认为“装备一代、研发一代、预研一代”是表面上最差的。这种思路是不合逻辑的。军工行业之所以能够保守秘密,是因为整个工业链ain有保密的需求,以实现内部和外部的隔离。然而,先进工艺的半导体设备在市场上处于运行状态。要求整个产业链保密是很困难的。总有线索。最后,也是最重要的一点,市场上还没有国产的尖端芯片产品。在制造工艺方面,我们已经实现了很大比例的国产化,但唯一的区别就在于制造工艺的先进程度。台积电计划在2025年第四季度开始量产2nm芯片。假设28nm光刻机量产,7nm芯片量产,那么最先进工艺落后多少代?有自媒体称只剩下一代了,因为DUV已经实现了,下一步就是EUV。从光刻机设备来看,勉强成立,但从光刻机设备来看,从芯片制造工艺来看,至少还差4代。稍微担心手机芯片的人,大家就明白了,7nm之后,手机芯片的制造工艺不再减少一半,从28nm到14nm,14nm到7nm,而是从7nm到5nm,5nm到4nm,4nm到3nm,现在台积电正在尝试闯入2nm量产。我身边有一位同事对制造工艺的差距漠不关心,我就问他用的是什么手机。我看了一下芯片,发现是4nm的。这是前年发布的车型,所以我感觉到制造工艺上的差距。当然,从某种意义上来说,这些工艺并不对应于芯片的物理尺寸,而只是半导体制造商识别代次产品技术的一种方式,很大程度上反映了制造工艺的发展。 (强调一下,新pro的性能管道相比上一代产品有所改进)更不用说,从实验室到批量生产工厂还有一个需要数年时间的验证过程。因此,只要对行业有一定了解,很难说“再等一两年,国产EUV光刻机就不成问题”。乐观地讲,中国半导体产业需要5-10年的时间才能赶上国际最先进水平。另外,需要改写的是,我们目前的抢角路线并非没有缺点。以目前所谓的7nm芯片的28nm DUV实现为例。其背后是DUV(深紫外光刻机)+多重曝光。目前,包括新凯莱在内的国内半导体厂商正在探索DUV(深紫外光刻机)+多重曝光,以突破工艺限制。这条技术路径已经产生了很多成果,但缺点也很明显:DUV+SAQP制作的先进制程芯片良率普遍低于EUV制作的先进制程芯片,算力也不足。同时,EUV制造芯片的先进工艺背后,能效和散热也很重要。所以,目前的DUV+SAQP只能是替代、替代、追赶计划,谈不上篡夺。
光刻机的光源能在弯道上超越别人吗?除了制造工艺上的探索,也有媒体炒作国内在光刻机光源方面的发展。年初有小文章称,国产EUV采用LDP技术,并在东莞进行测试,试产时间为2025年Q3,量产时间为2026年。并附有一张EUV物镜干涉仪照片,该照片是在东莞生产的。完全错误的。虽然后来的事情出乎意料,但涉及到了光刻机技术光源路线的争议。目前,EUV光刻机主要有两条技术路线:LPP和DPP。这两种途径之间的重要区别在于如何电离目标罐。 DPP利用电极之间的高压放电,并利用洛伦兹力压缩中性原子使其带电。从技术上讲,这称为收缩效应。 LPP 使用激光轰击它并使其电离。经过多年的技术探索,LPP解决方案胜出。主要原因是LPP方案具有更高的光源质量和更长的设计寿命。因此,目前以ASML为代表的光刻机厂商普遍采用了LPP方案。那么什么是LDP技术呢?有报道说是LPP和DPP的结合,这确实不准确,因为LDP只是用激光来预热TA提前获取目标材料,最后依靠放电电极隔离目标材料。所以严格来说,本案LDPA方是DPP的升级版。 LDP相对于DPP的优势部分体现在设计寿命上。 DPP方案存在过载和电极腐蚀的问题,而LDP则大大缓解了这一问题。但即便如此,在可预见的技术范围内,LDP方案挑战LPP方案的难度仍然很大。
结语国内半导体行业的“追光之路”从来都不是依靠营销话语就能加速的冲刺,而是一场需要直面差距、一步一个脚印的马拉松。从Baychip展会上的凯莱新设备矩阵,到鱼流胜28nm光刻机的未公开消息,探索国内DUV+多重曝光路线 厂家,我们在工艺上确实取得了很大的进步设备和先进的替代工艺。但我们也需要明确:“捕捉荷兰之美”不是一天就能完成的事情。营销口号中“一两年突破EUV”、“芯片95%国产化”的幻想,不仅无视半导体行业的技术规律,而且容易误导公众,催生投资泡沫。国内半导体产业的发展需要少一点浮躁的炒作,多一点务实的研发,少一点短期的狂欢,多一点长远。免责声明(上下滑动查看全部)本文中出现的任何信息(包括但不限于个股、评论、预测、图表、指标、理论、任何形式的表达等)仅供参考,投资者应对任何独立确定的投资行为负责。另外,本文中的任何观点、分析和预测不构成任何形式的投资仅供读者参考,对于因使用本文内容而造成的任何直接或间接损失,我们不承担任何责任。投资涉及风险,过去的表现并不代表未来的表现。财经早餐力求文章所载内容和观点客观公正,但不保证准确性、完整性、及时性等,本文仅代表作者本人观点。
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